Лазеры на углекислом газе

Принцип действия CO₂-лазеров

Лазеры на углекислом газе (CO₂-лазеры) относятся к газовым лазерам с непрерывным или импульсным режимом работы, излучающим в инфракрасной области спектра с характерной длиной волны 10,6 мкм. В основе генерации лежит индуцированное излучение при переходе молекулы CO₂ между колебательными уровнями, причем активная среда представляет собой газовую смесь, содержащую диоксид углерода, азот и гелий. В некоторых модификациях добавляют водяной пар или водород для повышения эффективности.

Механизм возбуждения CO₂-лазера основан на резонансной передаче энергии от возбужденных молекул N₂ к молекулам CO₂. Азот, обладая низкой вероятностью радиационного распада возбужденного состояния, эффективно накапливает энергию, полученную от электрического разряда, и передает её CO₂ через соударения, резонансно возбуждая асимметричный валентный колебательный уровень (001) молекулы CO₂.

Основные лазерные переходы происходят с уровня (001) на (100) и (020), что соответствует излучению с длинами волн около 10,6 мкм и 9,6 мкм соответственно. На практике чаще используется линия 10,6 мкм как наиболее интенсивная и стабильная.

Состав активной среды

Типичный состав активной смеси:

  • CO₂: 10–20%
  • N₂: 10–20%
  • He: 60–80%

Гелий выполняет несколько функций: способствует охлаждению активной среды, увеличивает теплопроводность, ускоряет релаксацию нижнего лазерного уровня (100), что способствует инверсии населения, а также увеличивает стабильность разряда. Азот — эффективный энергетический донор, а CO₂ — непосредственно излучающий компонент.

Для повышения эффективности и долговечности работы используются проточные схемы, а также системы рециркуляции газа. В мощных установках применяется охлаждение водой или жидким азотом.

Типы разрядов и способы накачки

В CO₂-лазерах применяется в основном электрический разряд постоянного тока или переменного тока высокой частоты. В зависимости от конструкции используются:

  • Поперечный разряд (TEA-лазеры) — позволяет достигать мощных импульсов длительностью наносекунды при атмосферном давлении.
  • Продольный разряд — чаще применяется в непрерывных лазерах малой и средней мощности.
  • СВЧ-накачка (RF) — позволяет обеспечить стабильную работу без электродного разрушения и загрязнения газа, особенно в компактных СО₂-лазерах с волноводной оптикой.

Существуют также лазеры с химической накачкой (например, HF/DF-лазеры), однако к СО₂-лазерам они отношения не имеют.

Конструкция резонатора и формирование пучка

Для генерации когерентного излучения необходим резонатор с высокой добротностью, формируемый зеркалами. Обычно применяется:

  • Полностью отражающее зеркало (металлическое или диэлектрическое)
  • Полупрозрачное выходное зеркало, через которое излучение покидает резонатор

Для фокусировки и формирования гауссового пучка используются вогнутые зеркала или внутренние оптические элементы. В волноводных СО₂-лазерах часто используются диэлектрические направляющие с металлическими покрытиями.

Управление модой пучка (TEM₀₀) обеспечивается с помощью апертурных диафрагм, зеркал с радиусом кривизны, фазовых корректоров и селекторов мод. Стабильность резонатора критична для обеспечения однородности излучения и предотвращения многомодового режима.

Спектральные особенности и управление длиной волны

CO₂-лазер обладает богатым спектром, состоящим из множества линий из-за переходов между различными колебательно-ротационными уровнями. Это позволяет перестройку длины волны в пределах примерно от 9,2 до 10,8 мкм. Для выбора конкретной линии используются:

  • Решетки и дифракционные элементы
  • Селекторы длины волны (например, интерферометры Фабри-Перо)
  • Внутрикамерные фильтры
  • Давление газа и температурная настройка

Перестраиваемые СО₂-лазеры особенно важны в спектроскопии и газоанализе, где точная селекция длины волны позволяет работать с конкретными поглощающими компонентами среды.

Характеристики и параметры

CO₂-лазеры могут обладать следующими характеристиками:

  • Мощность: от милливатт (волноводные или настольные системы) до сотен киловатт и мегаватт в импульсных системах
  • Длина волны: 10,6 мкм (основная линия), 9,6 мкм (вторая по значимости)
  • КПД: 10–20% в непрерывных лазерах, до 30% в импульсных установках
  • Качество пучка: зависит от конструкции, в TEM₀₀-пучке достигается дифракционное ограничение

Импульсные системы могут обеспечивать пиковые мощности в диапазоне сотен мегаватт, особенно в лазерах с поперечным разрядом и системой быстрого перезаряда.

Области применения

CO₂-лазеры нашли широчайшее применение благодаря высокой мощности, эффективности и надежности. Основные области:

  • Промышленность: резка, сварка, маркировка, пайка, термообработка материалов, включая металлы, полимеры, керамику
  • Медицина: хирургические процедуры, дерматология, офтальмология (испарение тканей с высокой точностью)
  • Наука и спектроскопия: ИК-спектроскопия, высокочувствительные измерения состава газов
  • Военное дело: дальномеры, системы активного инфракрасного освещения
  • Печать и гравировка: в т.ч. на органических и неорганических материалах
  • Микрообработка: гравировка микросхем, отверстий в керамике, удаление тонких слоев материалов

Высокая проникающая способность инфракрасного излучения и минимальное рассеяние в атмосфере также делают СО₂-лазеры подходящими для дистанционных измерений и телеметрии.

Особенности эксплуатации и охлаждения

Высокая тепловая нагрузка требует эффективных систем охлаждения. В маломощных лазерах применяется воздушное охлаждение, в мощных — жидкостное, зачастую с замкнутым контуром. Тепло, выделяемое на электродах и в активной среде, должно отводиться для поддержания стабильности режима генерации.

Кроме того, необходимо поддерживать чистоту газа: наличие примесей (например, кислорода, углеводородов) резко снижает срок службы. В промышленных лазерах используются системы фильтрации и замены газа.

Преимущества и ограничения CO₂-лазеров

Преимущества:

  • Высокий КПД и мощность
  • Надежность и стабильность
  • Доступность оптических компонентов
  • Богатый спектр и возможность перестройки длины волны
  • Относительная простота конструкции

Ограничения:

  • Работа в ИК-диапазоне требует специфических оптических материалов (ZnSe, Ge, KCl)
  • Низкое пространственное разрешение из-за большой длины волны
  • Габариты и необходимость охлаждения в мощных системах
  • Чувствительность к загрязнениям активной среды

Тем не менее, сочетание высокой эффективности, стабильности и доступности сделали CO₂-лазеры одними из наиболее широко используемых в различных сферах физики, инженерии и техники.