Ближнепольная сканирующая оптическая микроскопия (БСОМ, или NSOM — Near-field Scanning Optical Microscopy) представляет собой высокотехнологичный метод оптического исследования поверхностей с разрешением, значительно превышающим предел дифракции света, установленный классической оптической микроскопией. В основе метода лежит принцип взаимодействия очень близко расположенного светового источника с исследуемой поверхностью, что позволяет регистрировать оптические сигналы на расстояниях, существенно меньших длины волны используемого света.
Ключевым принципом является использование ближнего поля — электромагнитного поля, локализованного на расстояниях, малых по сравнению с длиной волны, в отличие от дальнего (плоско-волнового) поля, характерного для традиционной оптики. БСОМ позволяет получать информацию о топографии и оптических свойствах материала с разрешением до десятков нанометров.
Зонд (probe) Зонд БСОМ представляет собой остро заточенный наконечник, часто выполненный из оптически прозрачного материала и покрытый металлическим слоем с отверстие диаметром порядка 50–100 нм на вершине. Он служит источником или приёмником света в ближнем поле.
Система сканирования Обеспечивает точное перемещение зонда по поверхности образца с нанометровой точностью. Применяются пьезоэлектрические устройства для трёхмерного сканирования, что позволяет одновременно регистрировать топографию и оптический сигнал.
Оптическая система и детекторы Свет может вводиться в зонд через оптическое волокно или фокусироваться на зонд снаружи. Детекторы фиксируют интенсивность рассеянного, отражённого или флуоресцентного излучения. Часто используются фотодиоды, фотонные счётчики или камеры с высоким квантовым выходом.
БСОМ может работать в различных режимах, каждый из которых даёт специфическую информацию о материале:
Главное преимущество БСОМ — возможность преодоления дифракционного предела, который для видимого света составляет примерно λ/2. Разрешение в БСОМ определяется диаметром апертуры зонда и расстоянием между зондом и образцом, обычно достигая 10–50 нм.
Ограничения метода связаны с:
БСОМ особенно ценна для исследования метаматериалов, обладающих сложными структурными элементами на субволновом масштабе. Возможности метода:
БСОМ позволяет визуализировать распределение электрического и магнитного поля с субволновым разрешением, что критически важно для проектирования метаматериалов с заданными оптическими характеристиками.
Для успешного применения БСОМ необходимо учитывать: