Аморфные полупроводники представляют собой материалы, в которых
атомная структура отсутствует строгого дальнего порядка, характерного
для кристаллических полупроводников, но сохраняется короткодействующая
упорядоченность. Типичными примерами являются аморфный кремний (a-Si),
селен и их легированные соединения.
Ключевой особенностью аморфной структуры является наличие
значительного числа дефектов, локализованных состояний и нарушений
координации атомов. В аморфных полупроводниках почти отсутствуют
дислокации и границы зерен, но присутствует значительное количество
вакансий, междоузельных атомов и «висячих» связей. Эти дефекты
существенно влияют на электронные свойства материала, его оптические и
электрические характеристики.
Электронная структура
В отличие от кристаллических полупроводников, в аморфных материалах
запрещенная зона не имеет строгих краев. Энергетические состояния
электронов делятся на три основные группы:
- Зона валентности – состояний, заполненных
электронами в основном, аналогично кристаллическому материалу.
- Зона проводимости – состояний, свободных для
движения электронов.
- Локализованные состояния – образуются из-за
дефектов, «висячих» связей и нарушений координации. Эти состояния лежат
вблизи краев зон и внутри запрещенной зоны, формируя так называемые
хвосты состояний (Urbach tails).
Энергетическая структура аморфных полупроводников описывается моделью
Тонга (Tauc model), где оптический переход определяется не только
шириной запрещенной зоны, но и распределением локализованных
состояний.
Дефекты и их роль
Аморфные полупроводники характеризуются высокой плотностью дефектных
состояний. Наиболее важные из них:
- Висячие связи (dangling bonds) – атомы кремния, у
которых не все валентные связи удовлетворены, создают локализованные
энергетические состояния внутри запрещенной зоны.
- Вакансии и междоузельные атомы – приводят к
локальной деформации кристаллической сети и дополнительным
локализованным состояниям.
- Конформационные дефекты – небольшие отклонения от
идеальной краткодействующей структуры, создающие распределение
потенциальной энергии.
Эти дефекты напрямую влияют на электрическую проводимость, оптические
переходы и фотоэффект. Для аморфного кремния типично образование так
называемого плотного хвоста состояний, который
значительно расширяет спектр допустимых переходов электронов.
Механизмы проводимости
Проводимость аморфных полупроводников имеет характерные особенности,
отличающие её от кристаллических материалов:
- Термическое возбуждение в зону проводимости –
основной механизм при высоких температурах, аналогичный кристаллическому
полупроводнику.
- Хоппинг-проводимость – электрон «прыгает» между
локализованными состояниями внутри запрещенной зоны, особенно при низких
температурах.
- Перколяционный транспорт – при высокой концентрации
дефектов локализованные состояния могут образовывать связные пути для
переноса заряда.
Эти механизмы объясняют характерные нелинейные зависимости
проводимости от температуры и сильное влияние легирования на
электрические свойства.
Оптические свойства
Аморфные полупроводники обладают специфическими оптическими
характеристиками:
- Оптическая запрещенная зона (E_g) обычно меньше,
чем у кристаллических аналогов, и определяется не только основным
переходом, но и хвостами состояний.
- Фотоиндуцированная проводимость – освещение
приводит к генерации носителей заряда в локализованных состояниях, что
особенно ярко проявляется в a-Si:H (водородированном аморфном
кремнии).
- Структура поглощения часто описывается моделью
Таука, где зависимость коэффициента поглощения от энергии фотона имеет
вид α(hν) ∝ (hν − E_g)^2 / hν.
Легирование и модификация
свойств
Легирование аморфных полупроводников осуществляется для:
- Снижения концентрации висячих связей (например, водородирование
a-Si:H).
- Изменения концентрации носителей заряда (донорное или акцепторное
легирование).
- Регулировки оптической прозрачности и проводимости.
Водородирование является ключевым процессом, так как водород
пассивирует висячие связи, снижая плотность локализованных состояний и
повышая эффективность электронного транспорта.
Применение
Аморфные полупроводники нашли широкое применение благодаря их
специфическим свойствам:
- Фотоэлементы и солнечные батареи – a-Si:H
используется в тонкопленочных солнечных элементах.
- Тонкопленочные транзисторы – TFT на основе a-Si:H
применяются в дисплеях LCD.
- Оптоэлектроника – светодиоды и фотодетекторы.
- Датчики и мемристоры – использование локализованных
состояний для памяти и сенсоров.
Высокая гибкость в формировании пленок на различных подложках делает
аморфные полупроводники уникальными для промышленных и научных
приложений.