Основные понятия
Примесные полупроводники представляют собой полупроводниковые
материалы, в кристаллическую решётку которых намеренно введены
чужеродные атомы (допанты) с целью управления их электрическими
свойствами. Введение примеси изменяет концентрацию носителей заряда и
позволяет существенно повышать проводимость материала, что лежит в
основе работы большинства современных электронных приборов.
Ключевым отличием примесного полупроводника от чистого (собственного)
является наличие в нём донорных или акцепторных
уровней, расположенных внутри запрещённой зоны.
Классификация примесей
Донорные примеси Донорные примеси добавляют в
полупроводник атомы с большей валентностью, чем у атомов основного
материала. Например, кремний (Si) имеет четыре валентных электрона;
введение пятивалентного фосфора (P) создаёт лишний электрон, который
может свободно проводить ток.
- Энергетическая характеристика: донорный уровень
располагается близко к зонe проводимости, обычно на 0,01–0,05 эВ ниже её
дна.
- Эффект: при небольшом повышении температуры
электроны легко переходят в зону проводимости, что приводит к росту
электронной проводимости.
Акцепторные примеси Акцепторные примеси имеют
меньшую валентность, чем основной элемент кристалла. Например, введение
трёхвалентного бора (B) в кремний создаёт «дырки» — положительные
носители заряда.
- Энергетическая характеристика: акцепторный уровень
находится близко к верхнему краю валентной зоны, на 0,01–0,05 эВ выше
её.
- Эффект: электроны валентной зоны могут переходить
на акцепторные уровни, оставляя свободные дырки, которые становятся
основными носителями тока.
Механизмы проводимости
Примесные полупроводники характеризуются повышенной
проводимостью по сравнению с собственными. В зависимости от
типа примеси различают:
- n-тип — преобладают электроны (донорные
примеси).
- p-тип — преобладают дырки (акцепторные
примеси).
Электрическая проводимость σ определяется формулой:
σ = q(nμn + pμp)
где q — заряд электрона,
n и p — концентрации электронов и дырок,
μn и μp — их
подвижности. В примесных полупроводниках концентрация основных носителей
заряда значительно превышает концентрацию неосновных.
Зависимость свойств
от концентрации примеси
При низкой концентрации доноров или акцепторов полупроводник
находится в области разреженного примесного
полупроводника, где уровень Ферми находится близко к донорному
или акцепторному уровню, а температурная зависимость проводимости сильно
выражена.
При высокой концентрации примесей происходит выравнивание
уровней Ферми и формирование примесных зон, что приводит к:
- Смешанной проводимости: увеличивается влияние
неосновных носителей.
- Снижение подвижности: за счёт увеличения рассеяния
на примесных центрах.
- Переход к вырожденному состоянию: если концентрация
примеси становится сравнимой с атомной плотностью, полупроводник
приобретает свойства металла.
Примесная энергетическая
диаграмма
Энергетические уровни примесных атомов расположены внутри запрещённой
зоны:
- Донорные уровни: близко к зоне проводимости.
- Акцепторные уровни: близко к валентной зоне.
Это определяет низкую энергию активации и позволяет при малых
температурах активировать носители заряда.
Влияние примесей на
оптические свойства
Примесные полупроводники демонстрируют характерные спектральные
особенности:
- Появление новых поглощающих линий в инфракрасной
области, связанных с переходами электронов между примесными уровнями и
зонами проводимости/валентной зоной.
- Фотопроводимость усиливается, если энергия
падающего фотона превышает разность между уровнем примеси и зоной
проводимости.
- Возможны люминесцентные переходы, обусловленные
рекомбинацией носителей с участием примесных центров.
Технологические аспекты
Введение примесей в полупроводники осуществляется различными
методами:
- Диффузия: распыление примеси на поверхность и её
внедрение при высокой температуре.
- Ионная имплантация: прямое введение ионов примеси в
кристалл с последующим отжигом.
- Легирование при росте кристалла: включение
примесных атомов в процессе Czochralski или Bridgman методов.
Контроль концентрации примесей позволяет создавать полупроводники с
заданной проводимостью, что критически важно для изготовления диодов,
транзисторов и фотоприёмников.
Примеры практического
применения
- Диоды p–n: формируются за счёт сочетания n- и
p-типов.
- Биполярные транзисторы: требуют точного
распределения донорных и акцепторных областей.
- Сенсоры и фотоприёмники: оптимизация примесей
позволяет изменять чувствительность к определённым спектральным
диапазонам.
- Силовые полупроводники: контролируемая концентрация
примесей обеспечивает высокую проводимость и тепловую устойчивость.
Влияние температуры
Температурная зависимость проводимости примесного полупроводника
делится на три области:
- Область замораживания: при низких температурах
носители заморожены на примесных уровнях.
- Область активации: при умеренных температурах
носители переходят с примесных уровней в зоны проводимости.
- Область собственных носителей: при высоких
температурах собственные электроны и дырки начинают доминировать,
проводимость перестаёт зависеть от примесей.
Ключевые моменты
- Примесные полупроводники позволяют управлять концентрацией и типом
носителей заряда.
- Доноры создают n-тип, акцепторы — p-тип проводимости.
- Энергетические уровни примесей находятся близко к зонам проводимости
или валентной зоны, что обеспечивает низкую энергию активации.
- Концентрация примесей влияет на проводимость, подвижность носителей
и переход к вырожденному состоянию.
- Методы легирования обеспечивают точный контроль свойств
полупроводников, что критично для современных электронных приборов.