Энергетические уровни примесей

Общие положения

В реальных полупроводниках кристаллическая решётка никогда не является идеально чистой. В ней всегда присутствуют примеси и дефекты, которые вносят локализованные энергетические уровни в запрещённую зону. Эти уровни существенно влияют на электронные свойства материала, определяя тип проводимости, концентрацию носителей и температурную зависимость электропроводности.

Примесные уровни могут быть донорными или акцепторными в зависимости от того, какой носитель они поставляют в зону проводимости или валентную зону. Появление таких уровней связано с заменой атомов решётки атомами других элементов или с образованием вакансий, межузельных атомов и других дефектов.

Физическая природа примесных уровней

Если в решётку кремния или германия внедряется атом элемента с числом валентных электронов, отличным от числа у основного атома решётки, возникает локальное возмущение потенциального поля. Это возмущение создаёт локализованное состояние, энергетический уровень которого оказывается внутри запрещённой зоны.

  • Донорные уровни появляются, когда атом примеси имеет больше валентных электронов, чем основной атом решётки. Избыточный электрон слабо связан с атомом и может легко переходить в зону проводимости.
  • Акцепторные уровни возникают при введении атома с меньшим числом валентных электронов. В этом случае в валентной зоне образуется “дырка”, а соответствующий локализованный уровень в запрещённой зоне служит местом захвата электрона.

Энергетическое положение уровней

Примесные уровни располагаются близко к краям зон:

  • донорные уровни — вблизи дна зоны проводимости,
  • акцепторные уровни — вблизи вершины валентной зоны.

Глубина залегания этих уровней относительно краёв зон обычно составляет десятые доли электронвольта (от ~0,01 до 0,1 эВ), что существенно меньше ширины запрещённой зоны. Благодаря этому при относительно низких температурах такие уровни уже частично ионизованы, обеспечивая носителями проводимость.

Водородоподобная модель примесного уровня

Для описания энергетики примесного электрона часто используется аналогия с водородоподобным атомом. Избыточный электрон донора движется в поле ионного остатка примеси, подобно электрону в атоме водорода. Энергия связи определяется формулой:

$$ E_d = \frac{m^* e^4}{2 (4 \pi \varepsilon_0 \varepsilon_r \hbar)^2}, $$

где m* — эффективная масса электрона в полупроводнике, εr — относительная диэлектрическая проницаемость кристалла.

Эта энергия связи на несколько порядков меньше, чем в атоме водорода, из-за большого значения εr и малой эффективной массы. Например, в кремнии энергия ионизации донорного уровня порядка 0,045 эВ, тогда как в атоме водорода — 13,6 эВ.

Ионизация примесей

При повышении температуры электроны с донорных уровней переходят в зону проводимости, а электроны из валентной зоны заполняют акцепторные уровни. Процесс ионизации зависит от распределения Ферми–Дирака и определяется статистикой заполнения примесных уровней:

$$ f(E) = \frac{1}{1 + g \exp{\left(\frac{E - E_F}{kT}\right)}}, $$

где g — статистический вес уровня, EF — уровень Ферми, k — постоянная Больцмана, T — температура.

Для доноров вероятность занятости уменьшается при нагревании, что соответствует отдаче электрона в зону проводимости. Для акцепторов вероятность занятости возрастает, так как они захватывают электроны из валентной зоны.

Концентрация и распределение примесей

Количество примесных атомов в полупроводнике определяется условиями легирования. Концентрация доноров или акцепторов может варьироваться в пределах от 1013 до 1020 см−3. При низких концентрациях взаимодействие между примесными уровнями несущественно, и они остаются локализованными.

При увеличении концентрации уровни начинают перекрываться, формируя примесную зону. Это приводит к возникновению переходных состояний между примесной и зонной проводимостью, а при ещё больших концентрациях формируется вырожденный полупроводник с металлическим характером проводимости.

Глубокие и мелкие уровни

Примеси разделяются на два типа по глубине залегания их уровней:

  • мелкие уровни — находятся близко к краям зон (например, доноры фосфора в кремнии); они легко ионизуются и определяют проводимость при низких температурах,
  • глубокие уровни — лежат значительно глубже в запрещённой зоне и требуют более высокой энергии для ионизации. Такие уровни связаны с комплексными дефектами или тяжелыми элементами (например, золото в кремнии).

Глубокие уровни особенно важны, так как они могут эффективно захватывать носителей, действуя как центры рекомбинации.

Влияние на электрические свойства

Энергетические уровни примесей определяют:

  • тип проводимости (n- или p-тип),
  • концентрацию носителей в зависимости от температуры,
  • процессы рекомбинации и генерации,
  • подвижность носителей за счёт рассеяния на ионных центрах примесей.

Таким образом, управление энергетическими уровнями примесей — ключевой инструмент в инженерии полупроводниковых приборов, позволяющий создавать p–n переходы, транзисторы, диоды и интегральные схемы.