Ударная ионизация представляет собой процесс, при котором носитель заряда (электрон или дырка), обладающий высокой кинетической энергией, сталкивается с атомом кристаллической решётки или другим связанным электроном и передаёт ему достаточную энергию для возбуждения в зону проводимости. В результате такого столкновения возникает дополнительная пара электрон–дырка.
Ключевым условием возникновения ударной ионизации является превышение кинетической энергией носителя ширины запрещённой зоны полупроводника Eg. Таким образом, носитель, ускоряемый электрическим полем, должен набрать энергию не менее Eg, чтобы вызвать генерацию новой пары.
Кинетическая энергия носителя заряда в электрическом поле определяется выражением:
ΔE ≈ qEλ
где
Для ударной ионизации необходимо выполнение условия:
qEλ ≥ Eg
Это выражение определяет критическую напряжённость поля, при которой начинается лавинный процесс.
После первого акта ударной ионизации в системе появляются два носителя, которые в дальнейшем могут быть ускорены электрическим полем и вызвать новые акты ионизации. Таким образом, процесс приобретает каскадный характер.
Этот механизм носит название лавинного размножения носителей заряда. Основным результатом является экспоненциальное увеличение концентрации электронов и дырок в материале при относительно небольшом увеличении напряжённости поля.
Для количественного описания используют коэффициенты ударной ионизации:
Эти величины определяют вероятность генерации новой пары носителей на единицу пути, пройденного электронном или дыркой. Их значения зависят от:
Зависимость коэффициентов от напряжённости поля обычно имеет вид экспоненты:
$$ \alpha \sim \exp\left(-\frac{E_c}{E}\right) $$
где Ec – характеристическая напряжённость поля.
Лавинный пробой возникает, когда лавинное умножение носителей становится неограниченным. Это условие можно выразить через интеграл:
∫0d(αn + αp)dx ≥ 1
где d – толщина обеднённой области. Физически это означает, что хотя бы одна из частиц (электрон или дырка), проходя через область, вызывает в среднем не менее одного акта ионизации.
Ширина запрещённой зоны играет решающую роль: чем больше Eg, тем выше должна быть кинетическая энергия носителя и, соответственно, напряжённость поля для ионизации.
С ростом температуры коэффициенты ударной ионизации уменьшаются, так как увеличивается вероятность неупругого рассеяния носителей на фононах до того, как они достигнут энергии, необходимой для ионизации.
Таким образом, ударная ионизация является неравновесным процессом, а тепловая – равновесным.
Хотя ударная ионизация используется в некоторых приборах, в большинстве случаев она нежелательна, так как приводит к:
Особенно важно учитывать этот эффект при проектировании микросхем с малыми размерами, где напряжённость поля возрастает локально.