Интерференция — явление наложения двух или более когерентных световых волн, приводящее к пространственной модуляции интенсивности излучения. В тонких пленках интерференционные эффекты проявляются из-за множественных отражений и преломлений волн на границах пленки с окружающими средами.
При падении монохроматического света на тонкую плёнку с показателем преломления n, толщиной d, и находящуюся между двумя средами с показателями преломления n0 (обычно воздух) и ns (подложка), часть падающего света отражается от верхней поверхности пленки, часть — проходит внутрь и отражается от нижней границы. Сложение отражённых волн приводит к интерференции, зависящей от разности фаз.
Рассмотрим плёнку с показателем преломления n, толщиной d, освещаемую светом длиной волны в вакууме λ0. Волна падает нормально (перпендикулярно поверхности пленки).
Оптическая разность хода (ОРХ) между волнами, отражёнными от верхней и нижней поверхностей пленки, равна удвоенной оптической толщине пленки с учётом возможного сдвига фаз при отражениях:
Δ = 2ndcos θ′ + Δφ,
где
Фазовый сдвиг при отражении зависит от соотношения показателей преломления:
Для пленки, заключённой между средами n0 и ns, при нормальном падении:
Интерференционный максимум (конструктивная интерференция) наблюдается при условии, что разность фаз кратна 2π:
Δ = 2πm, m = 0, 1, 2, ...
Минимум отражения (деструктивная интерференция) при
Δ = (2m + 1)π.
С учётом фазовых сдвигов на отражениях, для нормального падения волн условие максимума отражения записывается как
2nd = mλ0,
а минимума — как
$$ 2 n d = \left(m + \frac{1}{2}\right) \lambda_0, $$
при n > n0 и n > ns, когда сдвиг фазы на верхней границе равен π, а на нижней отсутствует.
Если сдвиги фаз равны на обеих границах, то формулы меняются местами.
Для случая падения под углом θ0 учитывается закон Снеллиуса:
n0sin θ0 = nsin θ′,
а оптическая длина пути внутри пленки становится
Δ = 2ndcos θ′.
Условия интерференции сохраняются, но λ0 заменяется эффективной длиной волны внутри пленки
$$ \lambda = \frac{\lambda_0}{n}. $$
Суммарный коэффициент отражения и пропускания пленки зависит от интерференционных условий и может существенно отличаться от таковых для одной поверхности. В результате интерференции возникают полосы максимума и минимума отражения или пропускания, наблюдаемые как цветные радужные полосы.
Для описания амплитуд отражённых и прошедших волн применяется теория множественного отражения с использованием коэффициентов Френеля и суммированием бесконечной геометрической прогрессии.
Для тонких пленок, состоящих из нескольких слоёв с различными показателями преломления и толщинами, применяется матричный метод:
Это позволяет точно моделировать спектры отражения и пропускания сложных пленочных структур.
Реальные пленки часто имеют вариации толщины и индексных характеристик, приводящие к ослаблению интерференционных максимумов и появлению диффузного рассеяния.
Шероховатость поверхности и границ пленки приводит к частичному рассеянию и снижению контрастности интерференционных полос.
Толщина и показатель преломления пленки зависят от температуры и механического напряжения, что влияет на интерференционные условия. Это используется в датчиках температуры и напряжения на основе тонких пленок.
Когда толщина пленки становится сравнимой с длиной волны света или меньше, возникают квантовые и размерные эффекты, которые влияют на оптические свойства. В таких пленках интерференция накладывается на явления когерентного квантового отражения.
Максимум отражения: 2nd = mλ0,
$$ \text{Минимум отражения:} \quad 2 n d = \left(m + \frac{1}{2}\right) \lambda_0, $$
где m = 0, 1, 2, ….