Интерферометрические методы измерений

Принцип интерференции в измерениях

Интерферометрические методы основаны на явлении интерференции света — когерентного сложения волн, приводящего к появлению устойчивой картины чередующихся максимумов и минимумов интенсивности. Изменения в условиях распространения света (например, смещение зеркала, изменение показателя преломления, длины волны или фазы) приводят к сдвигу интерференционной картины. Именно это используется в качестве основы для прецизионных измерений в оптике.

Для регистрации изменений интерференционной картины требуется высокая степень когерентности используемого излучения, что обеспечивается применением лазеров, интерференционных фильтров, когерентных источников с большой длиной когерентности.


Классификация интерферометрических методов

Интерферометрические методы делятся по различным критериям:

  1. По типу интерферометра:

    • Интерферометры Майкельсона
    • Интерферометры Фабри–Перо
    • Интерферометры Маха–Цендера
    • Интерферометры Брага–Вульфа
    • Голографические интерферометры
  2. По характеру измеряемых величин:

    • Линейные смещения и перемещения
    • Углы и наклоны поверхностей
    • Изменения показателя преломления
    • Давление, температура, деформации
    • Волновой фронт излучения
  3. По способу анализа интерференционной картины:

    • Визуальный (фотографический, наблюдение)
    • Цифровой (CCD-матрицы, компьютерная обработка)
    • Голографический (запись и восстановление волнового фронта)

Интерферометр Майкельсона

Одним из наиболее широко используемых является интерферометр Майкельсона. Он состоит из полупрозрачного делителя пучка, двух зеркал и системы наблюдения интерференционной картины. Один из лучей, отражённый от зеркала, возвращается к делителю, где интерферирует с другим лучом, прошедшим другой путь. Изменение положения одного из зеркал вызывает сдвиг интерференционных полос.

Периодичность появления полос позволяет с высокой точностью определить изменение длины пути. При сдвиге зеркала на величину, равную половине длины волны, интерференционная полоса смещается на один период. Это позволяет производить измерения перемещений с точностью до долей длины волны.

Преимущества:

  • Высокая чувствительность
  • Простота конструкции
  • Прямолинейность шкалы измерения

Применения:

  • Калибровка координатных машин
  • Контроль микро- и нано-перемещений
  • Измерение деформаций материалов

Интерферометр Фабри–Перо

Этот интерферометр основан на многократных отражениях между двумя почти параллельными полупрозрачными зеркалами. В результате возникает многоходовая интерференция, дающая резонансные пики в зависимости от длины волны и толщины просвета между зеркалами.

Формула интерференции:

2ndcos θ = mλ

где n — показатель преломления, d — расстояние между зеркалами, θ — угол падения, m — порядок интерференции, λ — длина волны.

Основные характеристики:

  • Высокая спектральная разрешающая способность
  • Узкие интерференционные полосы
  • Чувствительность к изменениям длины пути в субнанометровом диапазоне

Применения:

  • Спектральный анализ
  • Контроль толщины пленок
  • Измерение показателя преломления газа или плазмы

Интерферометр Маха–Цендера

В этой схеме два пучка света проходят по разным независимым плечам и затем интерферируют. Это позволяет включить в одно из плеч исследуемую среду или объект. Изменения в оптической плотности среды, температуре, давлении или концентрации вещества приводят к изменению фазы и, следовательно, к сдвигу полос.

Преимущества:

  • Возможность интеграции различных образцов в пучок
  • Простота количественного анализа
  • Используется в газодинамике, термооптике, биофизике

Голографическая интерферометрия

Метод основан на регистрации полного волнового фронта объекта с использованием лазерной голографии. Сравнение двух голограмм, полученных до и после воздействия на объект, позволяет получить интерференционную картину изменений.

Преимущества:

  • Возможность анализа трёхмерных деформаций
  • Высокая точность без физического контакта
  • Применение для объектов сложной формы и больших размеров

Применяется для:

  • Неразрушающего контроля напряжений и деформаций
  • Изучения тепловых потоков
  • Вибрационного анализа деталей

Цифровая интерферометрия

Современные методы измерения опираются на цифровую регистрацию интерференционной картины с последующим анализом изображения. Используются ПЗС-камеры (CCD), высокоточные аналого-цифровые преобразователи, алгоритмы фазового сдвига и численного восстановления волнового фронта.

Метод фазового сдвига (PSI) позволяет определить фазу волны в каждой точке с точностью до долей радиана. Это достигается путём поочерёдной съёмки серии интерферограмм с известным сдвигом фаз.

Основные применения:

  • Измерение формы и качества оптических поверхностей
  • Контроль качества линз, зеркал, объективов
  • Волновая фронт-метрия в астрономии и лазерной технике

Интерферометрические методы в метрологии

Особое значение интерферометрия имеет в метрологии — науке о измерениях. Стандарты длины, такие как эталон метра, с 1983 года определяются через длину волны света, а значит — через интерференцию. Это позволило достичь исключительной точности в передаче и воспроизведении единиц измерения.

Интерферометрия лежит в основе:

  • Интерферометрических компараторов
  • Лазерных линейных интерферометров
  • Квантовых метрологических установок (например, интерферометры для измерения постоянной Планка)

Интерферометрия в оптическом тестировании и визуализации

В оптике интерферометрия используется как средство анализа волнового фронта. Поверхности линз, зеркал, объективов тестируются на отклонения от идеальной формы с помощью сравнения интерферограммы с эталонным фронтом. Метод позволяет выявлять аберрации, неровности, дефекты.

Популярные системы:

  • Интерферометры Цайсса, Вико, Zygo
  • Fizeau-интерферометры
  • Шеар-интерферометры

Такие системы находят применение в производстве прецизионной оптики, литографии, лазерной индустрии, телескопостроении.


Чувствительность и разрешающая способность

Чувствительность интерферометрических методов ограничивается когерентностью источника, стабильностью оптической схемы и шумами регистрации. Современные методы позволяют достигать разрешения на уровне нанометров и даже пикометров.

Резолюция зависит от:

  • Длины волны источника
  • Геометрии схемы (углов падения, длины плеч)
  • Алгоритмов цифровой обработки
  • Стабильности внешних условий (вибрации, температура)

Для повышения точности используются вакуумные камеры, пассивная и активная виброизоляция, фазовые локальные петли, обратная связь и температурная стабилизация.


Заключительное замечание о значимости метода

Интерферометрия — один из наиболее точных и универсальных методов в современной физике и технике. От фундаментальных исследований до промышленной метрологии, от диагностики материалов до биомедицинской визуализации — интерферометрические методы обеспечивают высочайшую точность, недостижимую другими оптическими средствами.