Рентгеновская микроскопия — это метод, использующий рентгеновское излучение для получения изображений с высоким пространственным разрешением. В отличие от оптической микроскопии, где длина волны видимого света ограничивает разрешение порядка сотен нанометров, рентгеновские лучи с длиной волны в диапазоне 0,01–10 нм позволяют исследовать структуры на нанометровом уровне, сохраняя при этом возможность работы с толстыми образцами и материалами высокой плотности.
Основной принцип рентгеновской микроскопии основан на взаимодействии рентгеновских лучей с веществом через процессы поглощения, рассеяния и фазовое сдвигающее воздействие. Эти процессы обеспечивают формирование контраста на изображении.
Поглощение рентгеновского излучения Контраст образца часто определяется разностью коэффициентов поглощения различных компонентов. Коэффициент поглощения зависит от атомного числа и энергии рентгеновских квантов. Это позволяет выделять элементы с высокой атомной массой на фоне более легких материалов.
Фазовый контраст Для материалов с близкими коэффициентами поглощения используется фазовая рентгеновская микроскопия, основанная на регистрации изменений фазы рентгеновской волны после прохождения через образец. Эта техника значительно повышает разрешение и чувствительность к структурам с малой плотностью.
Комбинированный подход Современные микроскопы часто используют смешанный контраст, сочетая поглощение и фазовые методы для комплексного анализа образцов.
Линзовые (просветные) рентгеновские микроскопы Используют конденсирующие и объективные рентгеновские линзы (например, зональные пластины). Излучение проходит через образец, и формируется увеличенное изображение на детекторе. Разрешение в современных системах достигает 10–20 нм.
Томографические микроскопы Позволяют получать трехмерное изображение образца. Используется серия двухмерных проекций при вращении образца, после чего применяются алгоритмы реконструкции.
Сканирующие рентгеновские микроскопы Основаны на точечном сканировании пучка по поверхности образца и регистрации сигнала от каждого пикселя.
Высокая яркость и коллимированность рентгеновского излучения синхротронов делают их незаменимыми для рентгеновской микроскопии:
Разрешение Ограничивается длиной волны излучения и качеством оптики. Для зональных пластин минимальный шаг зоны определяет предел разрешения:
δ ≈ 1, 22 Δrmin
где Δrmin — ширина самой тонкой зоны.
Контраст
Химический контраст Достигается путем выбора энергии рентгеновского излучения вблизи краевых поглощений определенных элементов (анализ XANES/EXAFS).