Зонные пластинки (zone plates) представляют собой дифракционные
оптические элементы, способные фокусировать электромагнитное излучение,
включая рентгеновские и синхротронные лучи, с высокой точностью. В
основе их работы лежит принцип интерференции: зонная пластинка формирует
набор концентрических зон, каждая из которых создает определённую
фазовую задержку, обеспечивая конструктивное суммирование волн в
фокусе.
Структура зонной пластинки
- Концентрические зоны — чередующиеся прозрачные и
поглощающие области, радиусы которых определяются условием Френеля:
$$
r_n = \sqrt{n \lambda f + \frac{n^2 \lambda^2}{4}} \approx \sqrt{n
\lambda f},
$$
где rn
— радиус n-й зоны, λ — длина волны излучения, f — фокусное расстояние. При малых
длинах волн, как в рентгеновском диапазоне, квадратичное слагаемое
обычно пренебрегают.
- Материалы зонных пластинок — чаще всего используют
металлы с высокой атомной массой (например, золото, вольфрам) для
поглощающих зон, нанесённые на тонкие прозрачные субстраты (кремний,
мембраны Si₃N₄). Прозрачные зоны могут быть просто воздух или материал с
малым коэффициентом поглощения.
Принцип дифракционного фокусирования Зонная
пластинка фокусирует излучение за счёт дифракции и интерференции от
каждой зоны. Фокус образуется в точке, где волны, прошедшие через разные
зоны, приходят в фазе, создавая максимальную интенсивность.
- Фокусное расстояние f для первой дифракционной максимума
задается:
$$
f = \frac{r_1^2}{\lambda},
$$
где r1 — радиус
первой зоны.
- Разрешающая способность определяется шириной
внешней зоны ΔrN:
δ = 1.22ΔrN,
что показывает прямую зависимость между минимально различимыми
деталями и структурой зонной пластинки.
Типы зонных пластинок
Амплитудные зонные пластинки
- Создают фокус за счёт чередования полностью поглощающих и прозрачных
зон.
- Обеспечивают умеренную эффективность (до 10–20%), но просты в
изготовлении.
Фазовые зонные пластинки
- Используют изменение фазы волны при прохождении через материал
зон.
- Фокусируются практически весь падающий поток, достигая эффективности
до 40–60%.
- Для рентгеновских лучей толщина фазовой зоны соответствует смещению
фазы на π.
Многослойные и аподизированные зонные
пластинки
- Для уменьшения боковых максимумов интенсивности и повышения
контраста фокуса.
- Часто применяются при синхротронной радиации для микро- и
нанофокусирования.
Изготовление и технологии
Современные технологии изготовления зонных пластинок включают:
- Электронно-лучевое литографирование для
формирования зон с размером до нескольких десятков нанометров.
- Гальваническое осаждение металлов для создания
поглощающих зон.
- Аподизация с помощью градиентной толщины зон для
минимизации дифракционных артефактов.
Ключевым ограничением является минимальная ширина внешней зоны — чем
меньше ΔrN,
тем выше разрешение, но сложнее изготовление.
Применение
зонных пластинок в физике синхротронной радиации
Микроскопия с рентгеновскими лучами
- Позволяет достигать пространственного разрешения до 10–20 нм при
использовании фазовых зонных пластинок.
- Применяется для исследования биологических образцов, наноструктур и
материалов.
Фокусировка для спектроскопии
- В экспериментах XAFS и SAXS зонные пластинки позволяют формировать
узкие пучки для локализованных измерений.
Нано- и микропечать
- Зонные пластинки используются как объективы для создания микро- и
наноструктур на фоточувствительных материалах с высокой точностью.
Ограничения и перспективы
- Хроматическая аберрация — фокусное расстояние
зависит от длины волны, что ограничивает использование белого
света.
- Дифракционные порядки — боковые максимумы уменьшают
контраст; для их подавления применяют аподизированные зоны.
- Технологические ограничения — уменьшение ширины
внешних зон до нескольких нанометров требует сложного
нанолитографического оборудования.
Современные исследования направлены на создание зонных пластинок с
минимальной шириной зон <10 нм, фазовым управлением и интеграцией с
многопучковыми системами синхротронов, что открывает новые возможности
для нанооптики и материаловедения.